儀器參數丨Details
一、干涉顯微鏡 6JA參數
測量表面光潔度范圍 |
10-14 |
工作物鏡的數值孔徑 |
0.65 |
工作距離 |
0.5mm |
儀器的視場 |
目視:φ0.25mm 照相:0.21* 0.15mm |
測微目鏡放大倍數 |
目視:500X 照相:168X |
測微目鏡放大倍數 |
12.5X |
測微鼓分劃值 |
0.01mm |
綠色干涉濾色片波長 |
λ≈5300Å |
半寬度 |
Δλ≈100Å |
工作臺升程 |
5mm |
X、Y方向移動范圍 |
≈10mm |
旋轉運動范圍 |
360˚ |
儀器標準鏡高反射率 |
≈60% |
低反射率 |
≈4% |
可調變壓器輸入電壓 |
220V |
輸出電壓 |
4V-6V |
儀器外形尺寸 |
270*160*230mm |
儀器重量 |
5公斤 |