本文標(biāo)題："微機(jī)電研發(fā)微小元件檢測工具顯微鏡廠商"

微機(jī)電研發(fā)微小元件檢測工具顯微鏡廠商

微機(jī)電系統(tǒng)之定義

MEMS系統(tǒng)的研發(fā)領(lǐng)域，是極具未來性和前瞻性科技，世界各國期望經(jīng)由MEMS的研發(fā)領(lǐng)域，
是極具未來性和前瞻性科技，世界各期望經(jīng)由MEMS的研發(fā)，其創(chuàng)廿一世紀(jì)新科技，以作為推動工業(yè)發(fā)展的動力，
并作為改善人民生活、促進(jìn)經(jīng)濟(jì)繁榮的重要手段。而我國歷經(jīng)四十年來的快速成長后，

拓工業(yè)新的成長空間，我國必須提升技術(shù)層次，發(fā)展高科技及附加價值高的新興產(chǎn)業(yè)，
開發(fā)具發(fā)展力的產(chǎn)品與主要技術(shù)，期望能帶動其他產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，
而MEMS系統(tǒng)的研發(fā)正好提供了一個具有發(fā)展力及前瞻性的方向。

由于微機(jī)電系統(tǒng)是一個新的領(lǐng)域，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的定義大致可分為兩大類，
第一類認(rèn)為微機(jī)電系統(tǒng)本身的大小在微米（μm）的范圍（即0.5~500μm）
，第二類認(rèn)為微機(jī)電系統(tǒng)是能達(dá)到微米以內(nèi)的運動精度的機(jī)械，而機(jī)械本身的大小沒有限制

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