工具顯微鏡的主要技術(shù)指標(biāo)和規(guī)格以及主要用途
測(cè)量范圍:
X向行程:200㎜ 圓工作臺(tái)直徑:φ213㎜
Y向行程:100㎜ 平工作臺(tái)尺寸(㎜):260×270
測(cè)角目鏡角度分劃范圍:360° 頂針間的最大夾緊長度:700㎜
螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍:±7° 頂針間能容納的最大直徑:φ100㎜
圓工作臺(tái)角度分劃范圍:0°~360° 高頂針架最大夾緊長度:200㎜
圓分度頭角度分劃范圍:0°~360° 高頂針架能容納的最大直徑:φ250㎜
主顯微鏡立柱的傾斜范圍:±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍:±90°
分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圓工作臺(tái)角度分度值:30″
測(cè)角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值:1′
輪廓目鏡角度分度值:±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值:30′
測(cè)量準(zhǔn)確度(被測(cè)件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃):
(1+L/100)μm,其中L為測(cè)量長度,單位:㎜ 光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù):
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3° 定位變動(dòng)性:<1μm
孔徑大于5㎜時(shí),可測(cè)孔的最大深度:≈15㎜ 測(cè)力(N):0.1±0.03