本文標題:"什么是電極涂布機-太陽能電池檢測金相顯微鏡"
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電極涂布機臺涂布重現性分析
以三組機臺補正輸入參數實驗計算芯片座標系與電極座標系誤差
值后結果共十五組補償數據,數據中 x1 最大誤差為 0.0386 mm,y1 最
大誤差為 0.0397 mm,θ1 最大誤差為 0.0595°,造成誤差較大的原因為
涂布網版及銀膠品質影響,將上述兩者改善后,誤差可大幅降低,因
此于后續芯片補正時,需更加注意涂布后電極品質對軟件辨識的影響。
軟件座標與涂布機臺座標轉換誤差分析
八組機臺補正參數(增量 50 μm)涂布后計算芯片座標系與電極座標
系誤差值,經座標轉換后以兩兩一組組合方式比較,共有 28 組數據,
由機臺補正參數差值與座標轉換結果差值進行比較,得到 X 最大誤差
為 0.0117 mm,Y1 最大誤差為 0.0090 mm,Y2 最大誤差為 0.0166 mm。
由最大誤差值可了解座標轉換后與機臺補正參數差距不會太大,因此
初步判定座標轉換方式正確,但于后續進行電極涂布補正時,座標轉
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