本文標題:"各種金屬、合金微量粗糙度輪廓測量多功能顯微鏡"
發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
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各種金屬、合金微量表面粗糙度儀輪廓測量多功能顯微鏡
表面凈化后,自然就不存在污染及其影響,但這種剛凈化過
的新表面,其物理結構與特征對下道工序產生深遠影響, 與表
面物理結構有關的其它問題以后再闡述。 現在先討論半導體表
面,然后討論制造器件用的其它材料,例如金屬、合金、陶瓷和
玻璃,
首先把半導體材料錠鋸成片,然后研磨、拋光到預定的厚度
。但這樣處理會產生被損傷的表面材料層,其性質與原材料大不
相同。 因此,要用化學蝕刻去掉一定深度的表層,以便消除機
械損傷
雖然表面經過如此制備,而單晶依然有不少缺陷,所以,
蝕刻工序是不完整的。 表面不是原子級光滑向,而
是有一定微量粗糙度,從而影響外延沉積層的完整性。實踐證明
:半導體的不同晶面(其它材料也一樣)會呈現不同的蝕刻速度與
氧化速度
此外,蝕刻法易使表面污染到原來的程度。 這種雜質和表
面缺陷在半導體內產生巨大的電效應。 關于這些電效應的詳細
敘述j可查閱參考文獻。 .
金屬與陶瓷
各種金屬、合金、玻璃和陶瓷都可用作密封硬件或電子器件
的支承構造,為此,常用濺射或蒸發金屬膜或鍍金。
為了得到一定表面光潔度而進行過拋光的許多陶瓷材料,
已發現它們都保留著大量殘存的細小陶瓷粉末、 實驗表明,造
成金屬膜粘附性不好,在任一凈化與超聲能加工前應該除掉粉末
,
如果要在表面蒸發一層薄的金屬膜,那么,表面粗糙度就是
一項限重要的性質。 在個別情況下,由于遮蔽作用大粗糙度足
以使薄膜產生孔洞。另一方面,由于“鍵控”作用,一定的粗糙
度反而能仗沉積膜得到額外的附著力。 在某些材料內還看到了
微裂,這是與以后性質不好直接有關的。利用集結在這些缺陷處
的熒光染料一般都能發現上述情況。
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