本文標題:"零件表面的幾何形狀的特征分析粗糙度顯微鏡"
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零件表面的幾何形狀的特征分析表面粗糙度儀顯微鏡
物體受熱和受力的作用,使它的表面層產生干涉條紋,根據
條紋的特點來觀察有無異常現象是上述方法的實質。可以用點式
熱源(例如,炭精電極之間的電弧、紅外波段工作的激光器發射
的光束),或冷源(例如干冰)做為熱源。力的作用可以是機械載
荷式的,或是恒磁作用式的。源點的照射可以是固定的或掃描的
。掃描的速度和方向由具體條件決定。同時受兩個甚至三個不同
溫度的熱源的瞬時加熱作用,就足以造成溫度的梯度,它將導致
產生彎曲力矩,并可利用干涉條紋中斷、彎曲和不對稱等現象,
查明缺陷的局部位置。
被研究零件表面的積分狀態的特殊圖象,同樣可以用二次方
或更高次方的圓周、橢圓及其它曲線的封閉幾何形狀的特性來求
算。噴油系統精密零件一般都是尺寸小而剛度大的。零件變形的
程度也很小,所以用一般系統的全息照像法測定零件的變形是困
難的。在這種情況下,只有改變參考光束和物體光束在全息圖上
的交角,以及在記錄并處理全息圖圖象之后,稍稍改變照射它的
光束的方向來調節它的靈敏度。
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