本文標題："光學元件的加工精度計量多功能工具顯微鏡廠商"
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光學元件的加工精度計量多功能工具顯微鏡廠商
聚光鏡將光源聚光并投射到原圖表面上。攝影鏡頭再將這一
小塊被照明面積圖象投影到一定的平面去。在這個平面上有
一個視場光闌，它呈正方形。光通量穿過光闌并投射到光電
轉換器上。
這種光學部件比前一種具有較高的空間分辨率，因為無
論原圖還是光學元件的漫射光都不會對象素的形狀和大小產
生影響。這種光學部件的一個優點在于可以通過改變光闌的
大小來改變象素的大小。
原圖的照度測量系統的信／噪比、照度水平與光源的亮
度及光學部件中的光損耗均有關。根據必要的信／噪比可以
確定起碼的照度水平。 ’
由于對原圖的照度不穩定，引起了光通量的起伏變化，最
終導致測量的誤差。
還有一個因素可能引起照度不穩定，。這就是光學部件本
身的幾何尺寸在掃描過程中發生變化。這種形式的不穩定性，
取決于圖象輸入裝置的掃描方式以及光學元件的加工精度。
步進電機斷續拖動裝置可以獲得很小的移位間距(不用
減速裝置)。同時，它能夠大大提高拖動的平滑性，減少掃描
定位時間。因為這種電機消除了滑移制動和弛張(或準弛張)
狀態，因此，取消減速器同樣也能提高掃描效率。步進電機
拖動的一個主要缺點是不能保證高速度掃描，除非采用特別
措施(自激勵加速等等)。
步進拖動用于小間距定位(百分之一或千分之一毫米)的
光柵掃描最為有效。
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