本文標題:"光學顯微鏡微觀偏析是掩膜測量中廣泛使用的工具"
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光學顯微鏡微觀偏析是掩膜測量中廣泛使用的工具
光顯微技術
光學顯微鏡是掩膜測量中最廣泛使用的工具。在掩膜制備
過程中,有好幾個步驟需要測量和檢驗。光學顯微鏡適合于生產性
操作,因為它們的體積較小,而且技術人員能很快掌握操作技
術,包括能很快掌握拍攝后立即沖洗的35mm寬的膠卷的使用技
術。
微觀偏析
到現在為止,我們僅討論了相對尺寸較大的體系在平面狀圃
液界面定向凝固時的溶質分配。由于這種定向體系簡
單,在作了一些近似處理后,推導出的方程也都是簡單的。但若
將以前所用的方法鹿甩于枝晶的凝固,情況就變得極其復雜。因
此,必須進行大量簡化才能處理這類問題。
生長中界面的形態穩定性是不能用經典熱力學的定義加以確
定的,當前對平衡熱力學的引伸還沒能提供一種完全可接受的替
代方法。為了對生長形態進行理論分析,有必要采用建立在試探
基礎上的穩定性判據。所作的最簡單的假設是:生長中所呈現的
形態是具有最大生長速率或最小過冷度的形態。另一種方法是采
用穩定性變量,建立擾動的數學函數來描述圍液界面,以確定界
面是否可能從一種形態轉變成另一種形態。如果擾動隨時間進程
而增強,就認為界面形態是不穩定的,反之則是穩定的
現在來討論等軸凝固的情況,它與柱狀凝固完全不同
在這種情況下,熱通量是從熔液而不是從固相傳到型
壁。因此,為了在固液界面前沿建立必要的溫度梯度,熔液必須
是過冷的。液相中的溫度梯度將為負值,而固相中的溫度梯度基
本上等于零。這樣,擾動在其尖端處將面臨更大的溫度梯度,導
致熱通量增加,使尖端處生長速率增大。因此,在等軸凝固條件
下,純物質的界面總是不穩定的(忽略動力學過冷度)。直接的
結果是;純金屬等軸晶總是以樹枝狀形態生長。由于
不存在偏析,在固態純金屬鑄件中將不能發現枝晶的痕跡。幸
而,這種情況下的枝晶生長特征可以在純有機物或純水中非常清
楚地看到。
因此可以推斷,純金屬的固液界面當溫度梯度為正時總是穩
定的,而當溫度梯度為負時總是不穩定的。
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