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本文標(biāo)題:"計算機及高精度機械加工數(shù)字全息檢測技術(shù)"

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計算機及高精度機械加工數(shù)字全息檢測技術(shù)

 
微機電系統(tǒng)的數(shù)字全息檢測
 
  隨著計算機及高精度機械加工技術(shù)的進步,微機電系統(tǒng)及微型元件
獲得廣泛應(yīng)用.為保證微系統(tǒng)的質(zhì)量,微機電元件的幾何尺寸及空間配
置精度的測量是一種關(guān)鍵技術(shù).在該研究領(lǐng)域中,數(shù)字全息三維形貌檢
測獲得了重要應(yīng)用.
 
  氣流傳感器的形貌,其傳感關(guān)鍵部位是硅芯片上一個寬度約lmm的
方形的隔膜.穿過隔膜和底層的氣流變化將導(dǎo)致通過隔膜周圍空間的光
束變形.應(yīng)變儀將這個變形轉(zhuǎn)化成光電信號后便能獲取氣流變化的信息
.很明顯,準(zhǔn)確知道隔膜在給定氣流狀態(tài)的形狀對控制產(chǎn)品的質(zhì)量非常
重要.
 
  材料物性參數(shù)的檢測
 
  對材料形變的測量測能獲取材料的許多重要物性參數(shù),例如材料的
楊氏模量、熱膨脹系數(shù)及泊松比等.國內(nèi)外在該研究領(lǐng)域不但已經(jīng)取得
許多重要進展,一些測量技術(shù)已經(jīng)獲得實際應(yīng)用
 

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