本文標(biāo)題:"工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足
一為『三維掃瞄機(jī)二代 』,另一為『 低溫共軛焦顯微鏡 』
垂直方向解析度不足一直是所有影像系統(tǒng)的問題,工業(yè)上利用光學(xué)三角測量法(Optical triangulation) 測量z軸距離,
并藉由掃描方式得到三維影像。第二代則是利用斜向入射的條紋圖形(Moire pattern),并配合掃描即可快速得到高解析度三維影像,
設(shè)計用于斜向投影的(30度)的成像鏡頭,以及LED的背光系統(tǒng),條紋的亮度均勻度在5 x 5 mm范圍,對比度可達(dá) 68.7% ,亮度均勻度可達(dá)78%。
本文第二部份探討在深1600mm超導(dǎo)磁鐵內(nèi)裝置共掃描軛焦掃描探測器(Scanning confocal probe),此影像探測鏡頭除了可偵測樣品電性外,
還包含光纖導(dǎo)入的激發(fā)光源、即時CCD影像監(jiān)測與筒共軛焦掃描,可在低溫與高磁場下測量電信訊號與螢光影像特性。
最大挑戰(zhàn)為筒身長達(dá)1600mm為一般顯微鏡10倍,因此像差均會被放大十倍,因此成像鏡頭組的設(shè)計與組裝為成敗關(guān)鍵。
依據(jù)現(xiàn)代顯微鏡來設(shè)計我們的組體架構(gòu),配合光學(xué)設(shè)計模擬軟體ZEMAX來設(shè)計透鏡組合,
解析度可達(dá)2.96um,MTF均在0.8以上,能量可達(dá)入瞳總強(qiáng)度76%。
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工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
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