本文標(biāo)題:"工具顯微物鏡有景深所以待測物的高度不能過小"
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工具顯微物鏡有景深所以待測物的高度不能過小
顯微物鏡主要規(guī)格
數(shù)值孔徑 0.28
放大倍率 10
工作距離 33.5 毫米
焦距 20 毫米
焦深 3.5 微米
顯微物鏡有景深(Depth of Field)的因素,所以待測物的高度不能過小,否則會因景深的緣故,
造成 z 軸切層無法取得最佳的聚焦度量值,重建出來的待測物輪廓也會錯(cuò)誤
電腦
因?yàn)槌淌绞墙挥呻娔X執(zhí)行,所以電腦配備優(yōu)良與否,決定了執(zhí)行
程式的速度與穩(wěn)定性
移動(dòng)平臺
本研究光學(xué)量測系統(tǒng)主要是利用平臺移動(dòng),來獲得被檢測物在 z
軸方向上的輪廓資訊,所以對于每步的移動(dòng)量,必須能由系統(tǒng)使用者
視量測需求來掌握,因此本文研究選擇 SIGMA-KOKI 公司的精密定
位平臺,搭配 PMM33BH-MG20 的步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)控制單元,
并藉由軟體達(dá)成自動(dòng)控制移動(dòng)平臺的目的
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