本文標(biāo)題："固體表面的形貌顆粒測(cè)量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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固體表面的形貌顆粒測(cè)量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器
TEM用來探測(cè)晶格缺陷的存在和相分配。最近已發(fā)展的掃
描TEM儀器能得到更寬區(qū)域的形貌，并降低高強(qiáng)度光束對(duì)樣品
的破壞。
如果樣品較厚，那么相互作用發(fā)生在樣品的表面，其產(chǎn)物沿著
一定的軌跡離開表面。在掃描電子顯微鏡中((SEM )，通常檢測(cè)的
是次級(jí)發(fā)射電子，電子束橫穿樣品表面進(jìn)行掃描。對(duì)于反射技術(shù)，
非金屬表面必須鍍上一層薄金屬膜(大約10nm )，例如噴鍍金膜，
防止樣品表面電荷富集。
電子微探針能進(jìn)行化學(xué)顯微分析以及SEM和BSE檢測(cè)，經(jīng)
常被稱作分析電子顯微鏡(AEM)或電子探針顯微鏡(EPMA )，這
是因?yàn)槿肷潆娮邮c表面作用的另外產(chǎn)物是X一射線光子，它的波
長(zhǎng)和能量取決于元素的種類和引起發(fā)射的電子層。分析這些光子
能對(duì)表面進(jìn)行局域化學(xué)分析，分辨率可達(dá)15m。使用的x一射線分
光光度計(jì)有兩種類型:
·波長(zhǎng)色散分光儀(WDS)，該儀器對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行掃描，波長(zhǎng)與
檢測(cè)到的激發(fā)光子相對(duì)應(yīng)，利用安裝在分光儀上的晶體的衍射，控
制晶面和光子束之間的角度。
·能量色散分光儀(EDS)，其中一個(gè)多通道分析器產(chǎn)生光子
能譜。
在這兩種情況下，譜峰對(duì)應(yīng)于特定的元素，而其峰面積對(duì)應(yīng)于
所含元素的百分含量。WDS的分辨率優(yōu)于EDS，盡管如此，到目
前為止前者僅適用于相當(dāng)少的元素。但是，對(duì)于輕元素來說，儀器
在自然狀態(tài)并采用防污染裝置，對(duì)碳以上的元索都可用WDS定
量分析。
TEM裝置也能進(jìn)行顯微分析，EDS是目前最常用的檢測(cè)技
術(shù)，與EELS一起用于檢測(cè)輕元素
令人感興趣的應(yīng)用之一是固定與特定元素相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)(或
能量)可以獲得固體表面的形貌(用SEM)或固體樣品(用STEM)
的形貌，并顯示元素的分布情況。這對(duì)腐蝕現(xiàn)象、表面，尤其是電極
表面的構(gòu)成提供了非常有用的信息。
利用新發(fā)展的紅外掃描顯微鏡(SIRM)能夠補(bǔ)充EPMA提供
的信息，尤其是吸附物的原位鑒別。
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