本文標(biāo)題:"熱電勢(shì)鍍層厚度測(cè)量技術(shù)簡(jiǎn)介-粗糙度測(cè)量顯微鏡"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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熱電勢(shì)鍍層厚度測(cè)量技術(shù)簡(jiǎn)介-表面粗糙度儀測(cè)量顯微鏡
熱電勢(shì)法鍍層厚度測(cè)量
熱電勢(shì)法測(cè)量覆層厚度的應(yīng)用不甚普遍,但對(duì)某些覆層厚度
的測(cè)量,如鐵基體上鎳鍍層、化學(xué)鍍鎳層,則是一種很有效的方
法,且在非磁性導(dǎo)電基體上非磁性導(dǎo)電覆層的厚度測(cè)量上也有一
定的應(yīng)用。
通常熱電勢(shì)法測(cè)量覆層厚度的范圍是從幾微米到二三十微
米。
在熱電勢(shì)法測(cè)量中,電極和被測(cè)量點(diǎn)間的熱電勢(shì)與被測(cè)表面
狀態(tài)、粗糙度以及電極的壓緊程度有關(guān),而被測(cè)件的化學(xué)成分和
結(jié)構(gòu)也有影響,因而給測(cè)量帶來(lái)一定的困難.
基本原理
將加熱電極置于被測(cè)覆層表面,從覆層表面沿覆層厚度方向
到基體,由于熱傳導(dǎo)而產(chǎn)生一定的溫度差,這溫度差與覆層厚
度、電極面積以及覆層和基體的導(dǎo)熱性能有關(guān)。
石英振蕩法沉積層厚度測(cè)量
石英振蕩法用于真空鍍膜中的鍍膜厚度測(cè)量和控制。在真空
鍍膜過(guò)程中,將一片石英和被鍍制品同時(shí)置于真空沉積裝置中,
利用石英晶片沉膜層厚度的不同對(duì)振蕩頻率的改變,從而達(dá)到鍍
膜厚度測(cè)量和厚度控制的目的.
當(dāng)石英晶片兩極加一電場(chǎng),晶片會(huì)產(chǎn)生機(jī)械變形;相反,若
在晶片上施加機(jī)械壓力,則在晶片相應(yīng)的方向上產(chǎn)生一定的電
場(chǎng),這種物理現(xiàn)象就是壓電效應(yīng)。當(dāng)石英晶片兩極加上交變電壓
的頻率與其固有頻率一致時(shí),將會(huì)產(chǎn)生諧振現(xiàn)象.若將石英晶片
兩極接在振蕩電路中,石英片在諧振條件下的振蕩振幅會(huì)突然增
大,在這種條件下,振蕩器將產(chǎn)生振蕩輸出。利用石英晶片的這
種特性可以實(shí)現(xiàn)鍍膜的厚度測(cè)量和控制。
石英晶片壓電效應(yīng)的固有頻率與其幾何尺寸和切割方式有
關(guān).當(dāng)晶片上鍍有某種膜層,將使晶片厚度增加,其固有頻率會(huì)
相應(yīng)降低.
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